APシステム、BOEのフレキシブルOLED製造ラインに、エキシマレーザアニール装置を受注


2020.02.25 ETニュース

 

APシステムは、中国BOEのフレキシブル有機EL(OLED)の生産ラインにエキシマレーザアニール(ELA)を供給する。APシステムは、韓国と中国のディスプレイメーカーへのELA主要サプライヤとしての地位を固めた。

 

25日、業界によると、BOEは、最近の重慶の第6世代(1500×1850㎜)のAMOLED生産ラインへのELAの入札で、APシステムが最終落札した。

 

ELAは低温シリコン(Si)結晶化工程(LTPS)のためのレーザー熱処理システムである。薄膜トランジスタ(TFT)基板に形成されたアモルファスシリコン(a-Si)膜をポリシリコン(p-Si)に結晶化する。電子移動速度と応答速度を高め、ディスプレイ駆動回路(バックプレーン)を作成するために使用される。

 

BOEは、今回の入札で製造装置の品質はもちろん、技術競争力、簡単で信頼性の高い動作性能、優れたサービス管理などを供給条件に掲げた。APシステムは、BOEの性能評価を優秀な成績で通過しながら、最終的機器サプライヤーとして選ばれた。この会社は、そのBOE生産ラインにELAを供給するのは初めてだ。BOEは重慶6世代フレキシブルAMOLEDラインに合計8台のELAを購入する計画である。

 

APシステムは、先月、中国OLEDパネルの専門メーカーのチャイナスターと847億ウォン規模の装置供給契約を締結した。続いてBOEでの落札受け、中国向けの販売を一層引き上げた。BOEは、前に成都B7ライン、綿陽B11ラインに続き、さらにELAを受注し、一層強固なサプライチェーンを確保することになった。

 

BOEは、今回の入札でAPシステムをはじめ、日新イオン機器(イオン注入)とキヤノントッキ(蒸着装置)、カティーバ(インクジェット)などを主な製造装置供給メーカに選定した。

 

APシステム社屋
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