APシステム、重慶BOEのB12にELA装置の供給


2020年 3月 9日 UBIリサーチ

 

BOEのB12ラインELA(eximer laser annealing)装置の入札でAPシステムが最終落札業者に選ばれた。

 

ELAはOLED用LTPS(low temperature polysilicon)TFTを作るためには必要な装置である。eximer laserはa-Siをpolysiliconに結晶化させる。高い熱を加えずpolysiliconを製作するためLTPSと呼ぶ。

 

BOEは、今回の入札で設備の品質だけでなく、技術競争力、容易な運用方式、メンテナンスなどを供給条件として提示し、APシステムはこれらのニーズをすべて満たして、最終的な装置サプライヤーとなった。正式POはまだ出ていない。

 

BOE B12は8台のELA装置を設置する計画だ。APシステムはBOEのB7とB11もELA装置を供給した。