出典：NewsPim｜2025年10月22日

AI半導体とガラス基板向けの新型真空ロボットを展示

韓国のロボット専門企業T-Robotics（ティロボティクス）は22日、ソウル・COEXで本日から24日まで開催される「半導体大展2025（SEDEX 2025）」に出展し、AI（人工知能）半導体およびガラス基板製造工程向けの真空ロボットを公開すると発表した。

今回発表されたガラス基板用真空搬送ロボットは、既存の8.6世代有機ELディスプレイ向け真空ロボットを基に、ガラス基板搬送工程に最適化して小型化した新モデルである。真空チャンバーの直列配列に対応する設計により、ロボットの動作速度と精密度を高めるとともに、製造工程中に発生する微細な粒子汚染を最小化。これにより、高精度な位置合わせと高い繰り返し精度を実現したという。

ディスプレイからAI半導体まで、真空搬送技術を拡張

T-Roboticsは、この真空搬送ロボットがディスプレイ工程内のエッチャー（Etcher）、スパッタ（Sputter）、化学気相成長（CVD）などの主要工程にも対応できるレベルの技術力を備えていると説明した。

特に同社は、AI半導体のパッケージング工程でガラス基板の採用が拡大している動向を踏まえ、クリーンルーム環境でも安定して稼働する高清浄・高精密な真空ロボット技術の開発を進めてきた。

T-Roboticsの関係者は次のようにコメントしている。「AI半導体や次世代パッケージング工程の進化に伴い、真空搬送ロボットの重要性はますます高まっています。ディスプレイおよび半導体分野で培ってきた真空ロボット技術を基盤に、AI半導体とガラス基板市場でも競争力を強化していきます。」