2025年11月24日｜出典：盛美上海（現地報道）

世界大手メーカーへの初納入で新たな段階へ

11月19日、盛美上海は、世界の大手ディスプレイ生産企業から受注していた先進光刻レジスト硬化製造装置「Ultra Lith BK（Baker）」の第一号機を正式に納入したと発表した。同社によれば、この装置は最新世代の光刻工程で課題となっている膜厚均一性の不足、温度ドリフト、クリティカルディメンション（CD）変異などを解決する目的で設計されており、素子寸法の微細化が進む中でも安定した歩留まりと高いパターン忠実度を維持できることを特徴としている。

今回の納入は盛美上海にとって重要な節目となる。同社が前段階のデモおよび検証を完了した後、初めて顧客側に本格導入されたTrackシリーズ装置であり、これによって盛美上海は高い性能と安定性が要求され、かつ大量生産能力を備えるディスプレイメーカーの新規市場に本格的に参入することを意味する。

高均一性と柔軟な露光モードを兼ね備えた「Ultra Lith BK」

「Ultra Lith BK」は、光刻工程に必要な高い均一性、柔軟な露光モード、構成可能なアーキテクチャを1台に集約した装置である。これにより、顧客企業は工程変動を大幅に抑制し、将来の微細化技術ノードに対応した量産拡張の基盤を築くことが可能になる。

装置に搭載された紫外（UV）硬化システムは、紫外光強度の均一性を±5％の範囲で制御することができ、ウェハ全面にわたり光刻レジストを均一に硬化させる。また、ラインスキャン、回転露光、ハイブリッド露光の各方式に対応し、プロセス設計に大きな自由度を与える。さらに同社独自の高度な熱管理技術により、クリティカルディメンション変異、アライメント誤差、パターン変形を抑制し、歩留まりと信頼性を大幅に向上させる点が特筆される。

盛美上海は長年にわたり、半導体製造および先進ウェハレベルパッケージング産業に不可欠な単ウェハ・槽式湿式洗浄装置、電解めっき装置、無応力ポリッシング装置、縦型炉管装置、前工程塗布・現像装置、プラズマ強化CVD装置などの研究開発・製造・販売を手がけてきた。同社は顧客の工程要件に応じた高性能かつ低消費の製造装置ソリューションを提供し、複数工程での生産効率向上、歩留まり改善、製造コスト低減に寄与している。

2025年第三四半期までの業績：売上・利益ともに大幅増

盛美上海（688082）が発表した2025年第3四半期までの決算によると、同年1〜9月の主力事業売上は51.46億元で前年同期比29.42％増となった。親会社株主に帰属する純利益は12.66億元で66.99％増、非経常損益を除く純利益は11.07億元で49.48％増と、いずれも大幅な増収増益を記録している。

2025年第3四半期単体では、主力事業売上が18.81億元で前年同期比19.61％増、親会社株主純利益が5.7億元で81.04％増、非経常損益除き4.33億元で41.41％増となった。負債率は27.08％、投資収益は3,198.76万元、財務費用はマイナス351.64万元、粗利率は49.54％と、財務指標も総じて堅調である。

これらの数値から、盛美上海が半導体製造装置分野での事業基盤を強化しつつ、ディスプレイメーカー向け高精度光刻関連装置の市場開拓にも成功しつつあることがうかがえる。